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白光干涉仪是一种精密测量仪器，能对物体表面的粗糙度/光洁度/洁净度、轮廓 、微观三维形貌 、PV值、台阶、高度 、平面度 、盲孔等进行高精度测量 。
白光干涉仪的测量精度很高，精度可以达到亚纳米级别 。以大量程、高精度的高速压电陶瓷单元驱动的白光干涉仪精度高达0.03nm ，扫描速度高达400μm/s。它应用的行业很广泛 ，可应用于新能源 、半导体 、精密加工、精密光学 、航空航天 、3C产品、材料 、液晶等领域。
白光干涉仪的原理是光干涉，两列频率相同 、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光干涉 。
当仪器扫过点A和点B时 ，点A和点B的干涉条纹高度峰值之间的差即为A 、B两点的高度差 。
白光干涉仪的光干涉原理分为两类：PSI相移干涉法和VSI垂直扫描干涉法。
1 、PSI相移干涉法：
相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉 。目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为? ，距离参考面的高度为h，则?=4h/λ 。借助相位测量法 ，可使用雅典扫描器等传动器移动测量面的光路 ，计算以1/4波长移动光路时获得的多个干涉条纹的相位差（?），然后将其转换为高度h。
2、VSI垂直扫描干涉法：
垂直扫描干涉法物镜以一定的间隔移动 ，以便确定每一阶的干涉条纹的亮度 。当测量面的光路和参考面的光路长度相等时 ，干涉条纹的亮度达到最高 。通过确定CCD光接收元件中每点最大干涉条纹亮度的Z轴高度可测出3D轮廓即高度差。
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